반도체 제조시설 내의 설비배치와 자동물류시스템 설계를 위한 휴리스틱

• 영문명: A Heuristic for Layout and Material Handling System Design in a Semiconductor Fabrication Facility
• 발행기관: 한국산업경영시스템학회
• 저자명: 이문수 채준재
• 간행물 정보: 『한국산업경영시스템학회 학술대회』2008년 추계학술대회 논문집, 1~6쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2008.10.30

국문 초록

반도체 제조공정의 효율적인 설계 및 운영에 많은 관심이 있어 왔고 반도체 제조시설의 효율적인 설계에 있어서 설비배치와 제조물류시스템설계는 필수적인 두가지 설계상의 이슈들로 알려져 왔다. 제조물류시스템과 설비레이아웃 간의 관계는 잘 알려진 바와 같이 밀접한 연관이 있고 이를 고려하여 이 두 가지를 통합적으로 고려한 설계는 제조물류비용의 감소, 제조물류시스템의 효율성 향상 및 장기투자비용의 타당성 제시라는 여러 가지 측면에 있어서 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 앞서 언급한 설비배치와 제조물류시스템 설계를 통합한 문제를 제시하고 Fab 내의 각 Bay를 연결하는 지름길(Shortcut)의 위치를 결정함으로써 해당 문제를 효율적으로 풀기위한 알고리듬을 제시하고자 한다. 따라서 본 연구에서 제시된 알고리듬에서는 Bay들과 중앙물류시스템을 가지고 있는 전형적인 반도체 제조시설의 레이아웃의 형태를 결정하는 과정에서 양분되어 있는 Bay 공간의 지름길의 위치와 설비그룹의 배치를 휴리스틱기법으로 구하게 된다.

목차

1. 서론

2. 선행연구

3. 시스템디자인 방법론

4. 실험결과

5. 결론

키워드

layout design material handling system spine layout