OLED공정에서 사용되는 섀도마스크의 습식 세정 후 세정표면 및 세정용액 분석에 관한 연구

• 영문명: Analysis of Post Cleaning Solution After Wet Cleaning of Shadow Mask Used in OLED Process
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제23권 제4호, 7~10쪽, 전체 4쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2016.12.31

영문 초록

The post cleaning method for clean the shadow mask using in OLED (organic light emitting diode) emitter layer is always reforming. The cleaning solution and analysis method of shadow mask is still lack and not optimized. We use the simple and useful analytical method to determine the quantity and quality of organic and inorganic residue on surface of shadow mask. Finally analyze the cleaning solution using Raman spectroscopy efficiently.

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과

4. 결론

References

키워드

shadow mask OLED organic and inorganic residue cleaning solution Raman spectroscopy