학술논문
NCF Trap이 Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프의 Electromigration 특성에 미치는 영향 분석
이용수 5
- 영문명
- Effect of NCF Trap on Electromigration Characteristics of Cu/Ni/Sn-Ag Microbumps
- 발행기관
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 저자명
- 간행물 정보
- 『마이크로전자 및 패키징학회지』제25권 제4호, 83~88쪽, 전체 6쪽
- 주제분류
- 공학 > 산업공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2018.12.31
4,000원
구매일시로부터 72시간 이내에 다운로드 가능합니다.
이 학술논문 정보는 (주)교보문고와 각 발행기관 사이에 저작물 이용 계약이 체결된 것으로, 교보문고를 통해 제공되고 있습니다.
국문 초록
Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프 접합 공정후 Ni/Sn-Ag접합계면에 잔류한 비전도성 필름(non-conductive film, NCF) trap 형성이 전기적 신뢰성에 미치는 영향을 분석하기 위해 온도 $150^{\circ}C$ 수식 이미지, 전류밀도 $1.5{\times}10^5A/cm^2$ 수식 이미지 조건에서 electromigration (EM) 신뢰성 실험을 진행하였다. EM 신뢰성 실험 결과, NCF trap이 거의 없는 Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프가 NCF trap이 형성된 미세범프 보다 약 8배 긴 EM 수명을 보여주고 있다. 저항 변화 및 손상계면에 대한 미세구조 분석결과, Ni/Sn-Ag접합계면에 공정 이슈에 의해 형성된 NCF trap이 Ni-Sn 금속간화합물/Sn-Ag솔더계면에 보이드를 유발하여 EM 원자 확산을 방해하기 때문에 빠른 보이드 성장에 의한 전기적 손상이 일찍 발생하는 것으로 판단된다.
영문 초록
The electromigration (EM) tests were performed at $15 수식 이미지0^{\circ}C$ 수식 이미지 with $1.5{\times}10^5A/cm^2$ 수식 이미지 conditions in order to investigate the effect of non-conductive film (NCF) trap on the electrical reliability of Cu/Ni/Sn-Ag microbumps. The EM failure time of Cu/Ni/Sn-Ag microbump with NCF trap was around 8 times shorter than Cu/Ni/Sn-Ag microbump without NCF trap. From systematic analysis on the electrical resistance and failed interfaces, the trapped NCF-induced voids at the Sn-Ag/Ni-Sn intermetallic compound interface lead to faster EM void growth and earlier open failure.
목차
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
References
해당간행물 수록 논문
- 전력반도체 접합용 천이액상확산접합 기술
- 신축성 전자패키지용 강성도 국부변환 신축기판에서의 플립칩 공정
- 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키징 재배선 적용을 위한 유무기 하이브리드 유전체 연구
- WBG 전력반도체 최신 기술 및 동향
- 열처리와 복합구조화를 통한 디스플레이용 기능성 고분자 필름의 내구성 향상 연구
- 신축성 전자소자를 위한 신축성 전극 및 스트레인 센서 개발 동향
- PDMS-Ecoflex 하이브리드 소재를 이용한 투명 신축성 기판의 기계적 및 광학적 특성
- 탄화규소(SiC) 반도체를 사용한 모듈에서의 방열 거동 해석 연구
- (ZnO/Co) 다층 박막에서 ZnO층의 두께가 상온강자성 특성에 미치는 영향
- 담금 어닐링을 이용한 유·무기 코어-쉘 나노입자 파우더 합성법
- 용액공정으로 제작한 ZnO/Ag/ZnO 다층구조의 광학적 특성 연구
- 기판 소재에 따른 패널 레벨 패키지 공정 단계별 warpage 해석
- 반도체 패키지용 PCB의 구조 모델링 방법에 따른 패키지의 warpage 수치적 연구
- Joule-heating Induced Crystallization (JIC) of Amorphous Silicon Films
- 글로벌 배선 적용을 위한 UV 패턴성과 UV 경화성을 가진 폴리실록산
- 신축성 전자패키지용 강성도 국부변환 신축기판의 계면접착력 향상공정
- 박막레그 직경에 따른 열전박막모듈의 열에너지 하비스팅 특성 비교
- 그래핀을 이용한 다공성 구리 전극의 전기화학적 이산화탄소 환원 능력 향상
- 고출력 전자 패키지 기판용 고열전도 h-BN/PVA 복합필름
- 아세토니트릴 첨가가 물유리 기반 실리카 에어로겔의 기공구조에 미치는 영향
- 플럭스 활성제 종류에 따른 Sn-Ag-Cu 솔더 페이스트의 젖음성 및 슬럼프 특성 평가
- NCF Trap이 Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프의 Electromigration 특성에 미치는 영향 분석
- Ar-N2 플라즈마가 Cu 표면에 미치는 구조적 특성 분석
- Chip-on-board 형 세라믹-메탈 하이브리드 기판을 적용한 50와트급 LED 어레이 모듈의 제조 및 방열특성 평가
참고문헌
교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!
신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.
바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!