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학술논문

Multi-step Virtual Metrology using Imputation of Missing Variables

이용수 12

영문명
발행기관
한국시뮬레이션학회
저자명
Chang-Dong Jun Jun-Geol Baek
간행물 정보
『한국시뮬레이션학회 학술대회집』2017년 춘계학술대회 발표집, 3434~3460쪽, 전체 27쪽
주제분류
공학 > 기타공학
파일형태
PDF
발행일자
2017.04.26
6,040

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1:1 문의
논문 표지

국문 초록

영문 초록

목차

1. 목적 및 개요
2. Module 개념
3. Virtual Metrology 활용 예
4. 전처리 및 특질 추출
5. Single Step VM
6. Multi Step VM
7. 결과 정리

키워드

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APA

Chang-Dong Jun,Jun-Geol Baek. (2017).Multi-step Virtual Metrology using Imputation of Missing Variables. 한국시뮬레이션학회 학술대회집, 2017 (1), 3434-3460

MLA

Chang-Dong Jun,Jun-Geol Baek. "Multi-step Virtual Metrology using Imputation of Missing Variables." 한국시뮬레이션학회 학술대회집, 2017.1(2017): 3434-3460

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