반도체 공정의 프로세스 마이닝 적용 기대 효과와 이슈

• 영문명: Expectations and Issues by Applying Process Mining to Semiconductor Manufacturing Process: Learned from Other Manufacturing Cases
• 발행기관: 한국시뮬레이션학회
• 저자명: 이창호 배영목 이동희 김광재
• 간행물 정보: 『한국시뮬레이션학회 학술대회집』2017년 춘계학술대회 발표집, 2895~2902쪽, 전체 8쪽
• 주제분류: 공학 > 기타공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2017.04.26

국문 초록

반도체 공정은 다른 제조업 분야 공정에 비해 공정 혁신 주기가 상대적으로 짧고;복잡도가 매우 높아 전체적인 관점에서의 공정 흐름 파악 및 최적화에 어려움이 존재한다. 최근 들어;반도체 공정에서 발생하는 막대한 양의 데이터의 활용성이 증가하면서 공정을 개선하고 최적 화할 수 있는 새로운 기회가 등장하고 있다. 프로세스 마이닝은 일련의 프로세스 이벤트 데이터를 기반으로 복잡한 프로세스를 효과적으로 시각화하고 분석하는 데 도움을 주는 방법 론으로;제조업 분야로 응용 범위가 확장되고 있다. 본 연구는 제조업 분야의 프로세스 마이닝 적용 현황 및 이슈를 파악하여 반도체 공정 에서의 적용 시 기대 효과 및 이슈를 제시하고자 한다.

목차

1. 서론

2. 제조업 분야에서의 프로세스 마이닝 적용 현황

3. 반도체 공정으로의 프로세스 마이닝 적용

4. 결론 및 제언

키워드

제조 공정 반도체 공정 프로세스 마이닝