순차적으로 전압 인가된 RF MEMS 스위치를 이용한 재구성 슬롯 안테나의 설계

• 영문명: Design of a Reconfigurable Slot Antenna using Sequentially Voltage-Applied RF MEMS Switches
• 발행기관: 한국항해항만학회
• 저자명: 심준환(Joon-Hwan Shim) 윤동식(Dong-Sik Yoon) 박동국(Dong-Kook Park) 강인호(In-Ho Kang) Jung-Chih Chiao
• 간행물 정보: 『한국항해항만학회지』제28권 제5호, 429~434쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 해양공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2004.06.30

국문 초록

본 논문은 순차적으로 전압 인가된 RF MEMS 스위치를 이용하여 재구성 슬롯 안테나를 설계하였다. MEMS 수위치의 구동전압과 최대 스트레스를 구하기 위하여, 에어갭 높이에 따른 스위치의 특성을 ANSYS 시뮬레이션으로 분석하였다. MEMS 스위치의 구동전압은 하부 전극과 상부 스위치 사이의 에어갭 높이의 스위치 형상에 의해 결정된다. 설계된 MEMS 스위치의 길이는 각각 240 ㎛, 320 ㎛, 400 ㎛ 이고, 에어갭은 6 ㎛이었다. 설계된 슬롯 안테나는 전체크기가 10㎜×10㎜이며, 슬롯의 크기는 길이가 500 ㎛, 폭이 200 ㎛이었다. 그리고 CPW 급전선은 전체의 길이는 5 ㎜이며, 입구에서의 CPW는 30-80-30 ㎛이고, 슬롯에서의 CPW는 150-300-150 ㎛이다. 제안된 소자의 공진주파수의 튜닝은 RF MEMS 스위치에 DC 바이어스를 인가함으로 안테나의 전기적인 길이를 변화시켜 이루어진다. 설계된 슬롯 안테나를 시뮬레이션, 제조 및 측정을 하였다.

영문 초록

In this paper, we designed a reconfigurable slot antenna using sequentially voltage-applied RF MEMS switches. In order to obtain pull-in voltage and maximum stress of the MEMS switches, the switch structures in accordance with airgap height was analyzed by ANSYS simulation. A actuation voltage of MEMS switches can be determined by switch geometry and airgap height between a movable plate and a bottom plate. The designed lengths of MEMS switches were 240 ㎛, 320 ㎛, 400 ㎛, respectively and the airgap was 6 ㎛. The total size of the designed slot antenna was 10㎜×10㎜ and the slot length and width were 500 ㎛ and 200 ㎛, respectively. the length and size of the CPW feedline were 5 ㎜ and 30-80-30 ㎛, respectively. and the size of the CPW in the slot was 150-300-150 ㎛. The tuning of the resonant frequency of the proposed device is realized by varying the electrical length of the antenna, which is controlled by applying the DC bias voltages to the RF MEMS switches. The designed slot antenna has simulated fabricated and measured.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. MEMS-based 안테나 설계

3. MEMS 스위치 및 안테나의 시뮬레이션 특성

4. 슬롯 안테나의 제조공정 및 측정 결과

5. 결론

후기

참고문헌

키워드

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