무전해 도금으로 제조한 마이크로 히트싱크

• 영문명: Micro-Heatsink Fabricated by Electroless Plating
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제11권 제2호, 11~16쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2004.06.30

국문 초록

전자칩의 고집적화에 의해 전자기기들은 점점 소형화 되어가고 있으며, 이들 기기들에서 발생되는 열은 기기의 성능 저하뿐 아니라 수명을 단축시킨다. 본 연구에서는 효율적인 방열 위한 마이크로 히트싱크 제조를 위하여 멤브레인에 금속(금, 니켈, 구리)은 도금하는 무전해 도금 방법을 이용하였다. 무전해 도금은 폴리카보네이트 멤브레인을 sensitization과 activation 등의 전처리 후, 도금하고자 하는 금속염 수용액에 침적시켜 실행하였다. 무전해 도금에 의하여 제조된 각각의 마이크로피브릴의 열전달 특성과 방열량은 표면적이 가장 큰 니켈 마이크로피브릴에서 가장 우수하게 나타났다.

영문 초록

Electronic devices are getting smaller due to integration of electronic chip, and heat generated in electronic devices can cause loss of performance and/or reliability of the devices. In this research, metals such as gold, nickel and copper are plated onto a porous membrane by electroless plating method to make an efficient micro-heatsinks. Electroless plating includes sensitization and activation steps in pre-treatment steps. A polycarbonate(PC) membrane was sensitizied, activated and deposited in each metal solution for plating. Among manufactured microfibrils, heat transfer and radiation properties of Ni-microfibril with high surface area were more effective than those of Au⁻ and Cu-microfibril.

목차

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

키워드

Heatsink Electroless Deposition Template Microfibril Membrane