2차원 채널 물질을 활용한 전계효과 트랜지스터의 저항 요소 분석

• 영문명: Performance Impact Analysis of Resistance Elements in Field-Effect Transistors Utilizing 2D Channel Materials
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 저자명: 홍태영 홍슬기
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제30권 제3호, 83~87쪽, 전체 5쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2023.09.30

국문 초록

전자 및 반도체 기술 분야에서는 Si를 대체할 혁신적인 반도체 소재 연구가 활발하게 진행 중이다. 그러나 대체소재에 대한 연구는 진행 중이지만 2차원 물질을 채널로 사용하는 트랜지스터의 구성요소, 특히 기생 저항과 RF(고주파) 응용 프로그램과의 관계에 대한 연구는 매우 부족한 편이다. 본 연구는 이러한 부족한 부분을 메우기 위해 다양한 트랜지스터 구조에 중점을 두고 전기적 성능에 미치는 영향을 체계적으로 분석하였다. 연구 결과, Access 저항과 Contact 저항이반도체 소자 성능 저하의 주요 요인 중 하나로 작용함을 확인하였으며, 특히 고도로 scaling down된 경우 그 영향이 더욱두드러지는 것을 확인하였다. 고주파 RF 소자에 대한 수요가 계속해서 증가함에 따라 원하는 RF 성능을 달성하기 위한 소자 구조 및 구성 요소를 최적화하기 위한 가이드라인을 수립하는 것은 매우 중요하다. 본 연구는 2차원 물질을 채널로 사용하는 다음 세대 RF 트랜지스터의 설계 및 개발에 도움이 될 수 있는 구조적 가이드라인을 제공함으로써 이 목표에 기여할 수 있다.

영문 초록

In the field of electronics and semiconductor technology, innovative semiconductor material research to replace Si is actively ongoing. However, while research on alternative materials is underway, there is a significant lack of studies regarding the relationship between 2D materials used as channels in transistors, especially parasitic resistance, and RF (radio frequency) applications. This study systematically analyzes the impact on electrical performance with a focus on various transistor structures to address this gap. The research results confirm that access resistance and contact resistance act as major factors contributing to the degradation of semiconductor device performance, particularly when highly scaled down. As the demand for high-frequency RF components continues to grow, establishing guidelines for optimizing component structures and elements to achieve desired RF performance is crucial. This study aims to contribute to this goal by providing structural guidelines that can aid in the design and development of next-generation RF transistors using 2D materials as channels.

목차

1. 서 론

2. 실험 방법

3. 결과 및 토의

4. 결 론

Acknowledgements

References

키워드

2D Channel Field Effect Transistor RF Device Analog Device Access Resistance Contact Resistance