스크러버 반응챔버 축소모델 내부 열유동특성에 관한 실험 및 수치해석 연구

• 영문명: Numerical and experimental study on the thermal-flow characteristics inside of small-scale scrubber reaction chamber
• 발행기관: 한국환경에너지공학회
• 저자명: 윤종혁 위수빈 송형운 김현경
• 간행물 정보: 『한국환경에너지공학회 학술대회지』2022년 추계학술발표회, 390~390쪽, 전체 1쪽
• 주제분류: 공학 > 환경공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2022.12.08

국문 초록

반도체 산업의 꾸준한 발전에 따라 반도체 제조공정으로 부터 생성된 폐가스를 정화하는 후처리 시스템에 않은 관심이 집중되고 있다. 이 중에서 반용챔버와 세정부로 구성되는 가스 스크러버는 반도체 제조공정으로부터 폐가스를 정제하기 위해 사용되고 있다. 전반적인 운전안정성 및 높온 제거효율을 얻기 위해 스크러버 시스템에서 반응챔버의 효율적인 설계가 필수적이다. 본 연구에 서 는 상사이론에 기초하여 단순화된 반응챔버의 축소모델이 설계되었고, 이러한 챔버 내부에서의 열유동 특성을 상용 전산유체역학(CFD) 코드인 Ansys CFX 2021 R2를 사용하여 수치해석적으로 분석되었다. 또한 수치해석 결과에 기초하여 반용챔버의 축소모델이 제작되었고, 수치해석결과를 검중하기 위해 특정 관측점에서의 온도의 결과를 실험과 비교 분석 하였으며, 약 2.5-9.8% 평균 오차가 발생하였고 전반적인 온도분포가 실험결과와 유사한 것을 확인하였다.

키워드

반도체 제조공정 후처리 시스템 스크러버 상사이론 CFD