반도체 스크러버 반응챔버 내 폐가스 열유동에 관한 수치해석 연구

• 영문명: Numerical study on the thermal-flow characteristics inside a reaction chamber of semiconductor scrubber system
• 발행기관: 한국환경에너지공학회
• 저자명: 윤종혁 위수빈 송형운 김현경
• 간행물 정보: 『한국환경에너지공학회 학술대회지』2022년 추계학술발표회, 367~367쪽, 전체 1쪽
• 주제분류: 공학 > 환경공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2022.12.08

국문 초록

반도체 산업의 발달과 더 불어 반도체 생산공정에서 발생되는 다양한 종류의 폐가스 배출을 저감시키기 위한 관심 이 집중되고 있다. 이러한 환경유해가스를 저감시키기 위한 장치로서 가스 스크러버 장치가 널리 사용되고 있으며 가스 스크러버 장치를 구성하고 있는 반응챔버의 성능향상을 위한 다양한 시도가 이뤄지고 있다. 본 연구에서는 수치해석기법을 기반으로 한 전산유체역학을 이용하여 반응챔버 내 열유동 특성을 예측하였고 실험과의 비교분석을 통하여 해석기법을 검증하였다. 온도결과에 대한 해석과 실험은 약 1.27-2.25% 수준의 오차를 보였으며 이룰 통해 해석결과의 타당성을 확보하였다. 추가적으로 검중된 해석기법을 이용하여 운전조건 및 반응기 형상 변화에 따른 거동특성을 파악하였다.

키워드

반도체 제조공정 후처리 시스템 스크러버 전산유체역학