적색 중심 Optical Link용 Si pin Photodetector의 설계 및 제작

• 영문명: Design and Fabrication of a Si pin Photodetector with Peak Spectral Response in the Red Light for Optical Link
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제8권 제1호, 1~4쪽, 전체 4쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2001.03.31

국문 초록

새로운 구조의 APF optical link용 Si pin photodetector를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 제작된 소자는 금속-반도체 접촉주위에 p⁺-guard ring구조와 광이 입사되는 수광면에 그물망 모양의 얕은 p⁺-확산영역을 갖는다. 제작된 소자의 전기.광학적 특성을 -5 V의 동작전압에서 측정한 결과, 접합 커패시턴스와 암전류는 각각 4 pF와 180 pA로 나타났으며 광신호 전류와 감도특성는 670 nm이 중심파장을 갖는 2.2 μW의 입사광 전력 아래에서 각각 1.22 μA와 0.55 A/W로 나타났다. 제작된 소자는 650~700 nm의 파장영역에서 최대 spectral response를 보이고 있으며 낮은 점한 커패시턴스와 우수한 신호분리능력으로 인해 red light optics응용에서 광신호 검출에 적합하게 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

영문 초록

We have fabricated and evaluated a new Si pin photodetector for APF optical link. The fabricated device has the p⁺-guard ring around the metal-semiconductor contact and the web patterned p⁺-shallow diffused region in the light absorbing area. From the measurements of electo-optical characteristics under the bias of -5 V, the junction capacitance of 4 pF and the dark current of 180 pA were obtained. The optical signal current of 1.22 μA and the responsivity of 0.55 A/W were obtained when the 2.2 μW optical power with peak wavelength of 670 nm was incident on the device. The fabricated device showed the maximum spectral response in a spectrum of 650-700 nm. It is expected that the fabricated device can be very useful for detecting the optical signal in the application of red light optics.

목차

1. 서론

2. 구조설계

3. 제작공정

4. 결과 및 고찰

5. 결론

감사의 글

참고문헌