n형 Bi-Te와 p형 Sb-Te 증착박막으로 구성된 in-plane 열전센서의 형성공정 및 감지특성

• 영문명: Fabrication Process and Sensing Characteristics of the In-plane Thermoelectric Sensor Consisting of the Evaporated p-type Sb-Te and n-type Bi-Te Thin Films
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제19권 제1호, 33~38쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2012.03.31

국문 초록

유리기판에 n형 Bi-Te 열전박막과 p형 Sb-Te 열전박막을 진공증착하여 in-plane 열전센서를 형성한 후, 열전센서의 감지특성을 분석하였다. 열전센서를 구성하는데 사용한 n형 Bi-Te 증착박막은 -165 µV/K의 Seebeck 계수와 80×10⁻⁴ W/K²-m의 출력인자를 나타내었으며, p형 Sb-Te 증착박막은 142 µV/K의 Seebeck 계수와 51.7×10⁻⁴ W/K²-m의 출력인자를 나타내었다. 이와 같은 n형 Bi-Te 및 p형 Sb-Te 박막 15쌍으로 구성된 열전센서는 2.8 mV/K의 감지도를 나타내었다.

영문 초록

An in-plane thermoelectric sensor was processed on a glass substrate by evaporation of the n-type Bi-Te and p-type Sb-Te thin films, and its sensing characteristics were evaluated. The n-type Bi-Te thins film used to fabricate the inplane sensor exhibited a Seebeck coefficient of -165 µV/K and a power factor of 80×10⁻⁴ W/K²-m. The p-type Sb-Te thin film used to fabricate the in-plane sensor exhibited a Seebeck coefficient of 142 µV/K and a power factor of 51.7×10⁻⁴ W/K²-m. The in-plane thermoelectric sensor consisting of 15 pairs of the n-type Bi-Te and the p-type Sb-Te evaporated thin films exhibited a sensitivity of 2.8 mV/K.

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

참고문헌

키워드

thermoelectrics thermopile thin films evaporation