가연성 가스센서 개발

• 영문명: Developm ent of C om bustible Gas censor
• 발행기관: 호서대학교 공업기술연구소
• 저자명: 윤의중 박노경 김좌연 진현준 송명렬
• 간행물 정보: 『공업기술연구 논문집』제26권 제1호, 123~128쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 공학일반
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2007.06.30

국문 초록

본 논문에서는 표면 마이크로머시닝 (surface micromachining) 기술을 이용하여 100x100 -260><260 사 m2 의 면 적을 가진 열적으로 고립된 micro-hot-plate(MHP) 을 제작하였다 . ANSYS 시물레이터tool 을 이용하여 센서의 최 적 설계를 수행하였다 . micro-heater 재 료 로 P(phosphorus) 가 도핑된 poly-Si 를 ， 온도 감지 재료로 A1 을 ，가스 감지재료로 Sn02 ( 수소 감지용 ) 또는 ZnO (NH3 감지용 ) 박막을 사용하였다 . 가스센서의 상세한 제작 공정을 기술하였다 .

목차

1. 서 콘

2. 가연성 가스센서 요소 기슬개발

3. 결 론

키워드

Micro-Heater M HP Gas sensor M E M S Diaphragm