금속산화막의 증발현상을 이용한 산화텅스텐 박막의 제작 가능성에 관한 연구

• 영문명: A Study on the Feasibility of Tungsten Oxide Thin Films by Evaporating the Metal Oxides
• 발행기관: 호서대학교 공업기술연구소
• 저자명: 한창석(ChangSuk Han)
• 간행물 정보: 『공업기술연구 논문집』제34권 제1호, 41~48쪽, 전체 8쪽
• 주제분류: 공학 > 공학일반
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2015.06.30

국문 초록

간단한 증발기술은 고체상태 일렉트로믹 소자 제작 및 텅스텐, 망간, 탄탈륨과 같은 천이금속의 고온산화에 적용할수 있다. 천이금속의 와이어 코일을 5.3 Pa 이하의 진공챔버 내에서 직류전원으로 가열하여 ITO 글래스 기판에 금속산화박막을 제작하였다. 텅스텐 산화박막의 표면은 약한 청색을 나타내며, 비정질상태이다. 망간 산화박막은 반투명이지만 탄탈륨 산화박막은 투명하다. 모든 시료에서 주상조직이 관찰되었으며. as-depo. 산화막의 일렉트로 크로믹 거동을 1 M LiC104 프로필렌 카보네이트 전해질에서 2 V의 전압을 인가하여 시험한 결과, 텅스텐 산화 박막은 cathodic type, 망간 산화박막은 anodic type을 나타내었다.

영문 초록

A simple evaporation technique have been proposed for the fabrication of all-solid-state electrochromic devices, and applied to high-temperature-oxidation of transition metals such as tungsten, manganese and tantalum . A wire coil of such a transition metal was heated by direct current flow in a vacuum chamber under less tha n 5.3 Pa, and metal oxide films were deposited on ITO glass substrates. The tungsten oxide films were found to be amorphous with slightly blue surfaces. The manganese oxide films showed less transparent, but the tantalum oxide films were transparent. Columnar morphology was observed for all these films. Electrochromic behavior of the as-deposited oxide ulm s was examined w ith an applied voltage of 2V in 1M LiC104 propylene carbonate electrolyte. It was confirmed tha t the tungsten oxide films show a cathodic type, and the manganese oxide films show an anodic type of electrochromic behavior.

목차

i. 서 론

II. 고온산화막 증발에 의한 증착 가능성

III. 실험방법

IV. 실험결과 및 고찰

V. 결 론

키워드

Evaporation technique Electrochromic behavior Tungsten oxide film Manganese oxide film