블록 공중합체 기반의 나노패터닝 기술

• 영문명: Nanopatterning technology based on block copolymers
• 발행기관: 호서대학교 공업기술연구소
• 저자명: 정용호(Yong-Ho Chung)
• 간행물 정보: 『공업기술연구 논문집』제43권 제2호, 63~71쪽, 전체 9쪽
• 주제분류: 공학 > 제어계측공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2024.12.31

국문 초록

블록 공중합체는 2종류, 3종류 혹은 그 이상의 단량체들이 주기적으로 결합한 구조를 가지는 고분자로써, 단량체들의 조합을 변경하여 매우 다양한 복합물질을 구성할 수 있다. 또한 블록 공중합체의 중요한 특징은, 기본적으로 서로 섞이지 않는 구성 단량체들의 반발력에 의한 자가조립을 통해 복합체를 형성한다는 점인데, 이러한 조립과정에서 단량체의 구성이나, 온도나 용매 등의 공정 조건 등의 조절을 통해 나노 수준에서 결합 구조를 제어하여 원하는 나노구조체를 합성할 수 있다. 이러한 차별적인 구조적인 특성으로 인해, 다양한 형태와 구조를 지닌 블록공중합체들이 최근까지 연구되고 있으며, 많은 응용 분야에서 폭넓게 활용되고 있다. 특히 기존에 반도체공정에서 주로 사용되던 탑다운 방식의 기술에 대한 보완으로 많은 관심을 받고 있는데, 본 연구에서는 블록 공중합체를 구성하는 기본적인 원리와, 이에 기반한 나노 패터닝 기술의 원리 및 최근 기술 동향, 그리고 향후의 전망에 대해서 개괄하도록 하겠다.

영문 초록

Block copolymers are polymers that have a structure in which two, three, or more types of monomers are periodically combined, and can form a wide variety of composite materials by changing the combination of monomers. In addition, an important characteristic of block copolymers is that they form a complex through self-assembly by the repulsion of the constituent monomers that are basically immiscible with each other. During this assembly process, the combination structure can be controlled at the nano level by controlling the composition of the monomers or process conditions such as temperature or solvent, thereby synthesizing the desired nanostructure. Due to these differential structural characteristics, block copolymers with various shapes and structures have been studied until recently and are widely used in many fields of application. In particular, they are receiving much attention as a supplement to the top-down method that was mainly used in the semiconductor process. In this study, we will outline the basic principles of forming block copolymers, the principles of nano-patterning technology based on this, recent technology trends, and future prospects.

목차

I. 서 론

II. 블록 공중합체 합성

III. 블록 공중합체 기반 나노 패터닝 기술

IV. 결론

참고문헌

키워드

Block copolymer Nanopatterning Self-assembly Nanostructure