나노 입자를 이용한 PCB 기반 후막 가스 센서

• 영문명: Thick Film Gas Sensor Based on PCB by Using Nano Particles
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제14권 제2호, 59~63쪽, 전체 5쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2007.06.30

국문 초록

간단한 PCB 공정을 기반으로 하여 저가형의 후막 가스 센서 모듈을 제안하고자 한다. 제안된 센서 모듈은 NO₂/H₂ 가스 센서와 습도센서, 그리고 히터를 포함한다. NO₂/H₂ 가스와 상대 습도 센서들은 각각 SNO₂와 BaTiO₃ 나노 입자들을 PCB 기판에서의 IDT(interdigital Transducer)에 프린팅 함으로써 제작되었다. 처음에 1% H₂ 가스를 센서 쳄버에 공급하고 4분 후 H₂가스 공급을 멈추고 공기를 주입시켰으며, 이러한 동작을 반복적으로 수행하였다. 마찬가지로 NO₂로 감지하도록 같은 동작을 실행하였다. H₂ 가스에 대한 결과는 도전성의 증가로 인하여 0.8V에서 3.5V로 증가함을 볼 수 있었으며, H₂ 가스를 주입한후의 반응 시간은 65초였다. NO₂ 가스의 경우는 도전성이 감소함으로써 2.7 V의 전압강하가 일어 났으며, 반응시간은 3초였다.

영문 초록

This paper presented a low-cost thick film gas sensor module, which was based on simple PCB (Printed Circuit Board) process. The proposed sensor module included a NO₂/H₂ gas sensor, a relative humidity sensor, and a heating element. The NO₂/H₂ gas and relative humidity sensors were realized by screen-printing SNO₂,BaTiO₃ nano-powders on IDTS (Interdigital Transducer) of a PCB substrate, respectively. At first 1% H₂ gas flowed into the sensor chamber. After 4 min, air filled the chamber while H₂ gas flow stopped. This experiment was performed repeatedly. The Identical procedure was used for the NO₂ detection. The result for sensing H₂ gas showed the increase of voltage from 0.8V to 3.5V due to the conductance increase and its reaction response time by hydrogen flow was 65 sec. NO₂ sensing results showed 2.7 V voltage drop due to the conductance decrease and its response time was 3 sec through a voltage monitoring.

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

참고문헌

키워드

PCB.tin oxide hydrogen nitrogen dioxide