학술논문
UV 임프린트 공정을 이용한 평판형 광도파로 기반의 집적형 분광 모듈 제작
이용수 0
- 영문명
- Fabrication of Monolithic Spectrometer Module Based on Planar Optical Waveguide Platform using UV Imprint Lithography
- 발행기관
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 저자명
- 간행물 정보
- 『마이크로전자 및 패키징학회지』제22권 제3호, 73~77쪽, 전체 5쪽
- 주제분류
- 공학 > 산업공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2015.09.30
4,000원
구매일시로부터 72시간 이내에 다운로드 가능합니다.
이 학술논문 정보는 (주)교보문고와 각 발행기관 사이에 저작물 이용 계약이 체결된 것으로, 교보문고를 통해 제공되고 있습니다.
국문 초록
본 논문에서는 저가로 쉽게 제작할 수 있는 구조를 지닌 단일칩 형태의 고분자 기반 평판형 분광모듈을 제안하였다. 제안된 분광모듈은 UV 임프린트 기법에 의해 제작되어진 비등간격 나노회절격자와 오목거울이 포함된 평판형 광도파로로 구성되어진다. 회절효율을 향상시키기 위해 나노회절격자의 구조는 25°의 블레이징 각도와 100nm의 선폭을 가지도록 설계, 제작되었다. 평판형 분광모듈은 700 nm 대역폭과 10 nm 분해능을 가짐을 확인하였다. 이러한 집적형 고분자 분광모듈은 다양한 센서 시스템에 적용될 수 있을 것으로 기대된다.
영문 초록
This paper presents integrated polymeric spectrometer module which offers compact size, easily-fabricated structure and low cost. The proposed spectrometer module includes the nano diffraction grating with non-uniform pitch and planar optical waveguide with concave mirror to be fabricated by UV imprint lithography. To increase the reflection efficiency, we designed the nano diffraction grating with triangular profiles. The polymeric planar spectrometer includes a spectral bandwidth of 700 nm, resolution of 10 nm and precision below 5 nm. This polymeric planar spectrometer is well-suited for sensor system.
목차
1. 서론
2. 평판형 광도파로 기반 분광모듈 구조 설계
3. UV 임프린트 공정에 의한 분광모듈 제작
4. 분광모듈 특성평가
5. 결론
Acknowledgments
References
해당간행물 수록 논문
- 자전 연소 전구체로 합성한 나노 크기 경/연 복합페라이트의 자기 특성
- UV 임프린트 공정을 이용한 평판형 광도파로 기반의 집적형 분광 모듈 제작
- 미래를 향하는 한국 마이크로 패키징 학회지의 과거와 현재 연구영역에 관한 연구
- 히트 싱크용 클래드메탈에서 두께 방향의 열전도 특성에 미치는 계면의 영향
- CNT-Ag 복합패드가 Cu/Au 범프의 플립칩 접속저항에 미치는 영향
- 전해Ni, 무전해 Ni pad에서의 Cu 함량에 따른 접합 신뢰성에 관한 연구
- 상압 플라즈마를 이용한 고속 실리콘 웨이퍼 직접접합 공정
- 반도체 패키지의 굽힘변형 측정을 위한 그림자 무아레의 감도향상 기법연구
- 자동차 전장용 무연 솔더 기술
- Al 및 SiN 박막 위에 형성된 TiW Under Bump Metallurgy의 스퍼터링 조건에 따른 Au Bump의 접착력 특성
- 초미세 SAC305 나노입자를 사용한 저온 코팅법으로 제조된 SAC305 코팅 Cu의 솔더 젖음성
참고문헌
교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!
신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.
바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!