열플라즈마 스크러버에 의한 PFCs 가스 분해

• 영문명: PFCs Gas Decomposition by Thermal Plasma Scrubber
• 발행기관: 한국환경에너지공학회
• 저자명: 박동화
• 간행물 정보: 『한국환경에너지공학회 학술대회지』2016년 추계학술발표회, 4~4쪽, 전체 1쪽
• 주제분류: 공학 > 환경공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2016.11.03

국문 초록

반도체 에칭공정 및 세정공정에 사용되는 PFCs 가스(CF4, C2F6, NF3, SF6 등) 는 온난화지수(Global Warming Potential)가 큰 온실가스로서, 무해화 처리하여 배출하여야만 한다. 한편 본 연구에서는 PFCs 기체를 분해하기위한 실험실적 연구, 벤치 스케일 연구, 파이롯트 규모 연구를 거쳐 상용화에 성공하였다. 특히 NF3 기체의 경우 적은 전력으로 99% 이상의 DRE를 보였으며, CF4 의 경우 사용한 모든 전력 범위에서 95% 이상의 안정적인 DRE를 나타내었다.

키워드

아크 플라즈마,PFCs gas,Decomposition,DRE,Thermal Plasma Scrubber