양극 재료가 철-니켈 합금 도금에 미치는 영향에 대한 전기화학적 평가

• 영문명: Electrochemical Evaluation of Anode Type on Fe-Ni Electroplating
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 저자명: 강나영(Na Young Kang) 이재호(Jae Ho Lee)
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제31권 제4호, 83~88쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2024.12.31

국문 초록

철-니켈 합금 도금 시 양극이 도금층에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. 불활성 양극인 DSA와 가용성 양극인 니켈을 사용해 철-니켈 도금을 진행했으며, 도금층과 도금욕을 분석해 철-니켈 도금에 미치는 영향을 알아보았다. DSA를 사용했을 때보다 니켈 양극을 사용했을 때 니켈 용해 반응에 의해 도금층의 니켈 함량이 더 높게 나타났다. 각 양극의 도금 중 potential을 관찰한 결과, DSA의 경우 도금을 진행한 전류밀도에서는 Fe2+이 Fe3+로 산화되는 반응만 진행되었으며, 그 결과 도금욕의 pH가 감소하고 도금욕의 OCP가 증가하였다. 반면 니켈 전극의 경우 Fe3+가 거의 생성되지않았으며, 실제로 도금욕의 pH와 OCP 또한 초기 조건과 큰 차이가 나지 않았다.

영문 초록

In this research, Fe-Ni alloy films were electroplated in the cell with different anode, DSA (inert anode) and Ni (soluble anode) to investigate the effect of anode type on the deposits and the baths. The deposits obtained from the Ni anode had higher Ni content than those from the DSA due to the increase in Ni2+ concentration of the baths, caused by Ni anode dissolution. The potential monitoring showed that the oxidation of Fe2+ to Fe3+ was the only reaction of DSA at the current density where Fe-Ni electroplating was conducted. Fe3+ formed at the DSA not only caused decrease in pH but increase in OCP of the baths. On the other hand, the pH and OCP of the bath using Ni anode changed slightly because the anodic potential during electroplating was insufficient to oxidize Fe2+ and form Fe3+.

목차

1. 서 론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결 론

감사의 글

References

키워드

Fe-Ni alloy Electrodeposition Inert anode Soluble anode