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학술논문

반도체 장비의 히터 구동 및 인터락 회로에 관한 연구

이용수 4

영문명
A Study on Heater and Interlock Circuit at Semiconductor Equipment
발행기관
한국산업기술융합학회(구. 산업기술교육훈련학회)
저자명
방재원 노우혁 조영훈 최은찬 유홍렬
간행물 정보
『한국산업기술융합학회 학술대회 논문집』2023년 전반기 학술대회 논문집, 91~96쪽, 전체 6쪽
주제분류
공학 > 산업공학
파일형태
PDF
발행일자
2023.06.03
4,000원

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APA

방재원,노우혁,조영훈,최은찬,유홍렬. (2023).반도체 장비의 히터 구동 및 인터락 회로에 관한 연구. 한국산업기술융합학회 학술대회 논문집, 2023 (1), 91-96

MLA

방재원,노우혁,조영훈,최은찬,유홍렬. "반도체 장비의 히터 구동 및 인터락 회로에 관한 연구." 한국산업기술융합학회 학술대회 논문집, 2023.1(2023): 91-96

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