디지털 방사선 변환 센서로의 적용을 위한 다결정 형태의 카드뮴 테를라이드 필름의 제작 및 특성 분석 연구

• 영문명: ANalysis of Electriacal Properties of Polycrystalline Cadmium Telluride Film for the Digital Radiation Sensor
• 발행기관: 한국방사선학회
• 저자명: 오경민(Kyung Min Oh) 김진선(Jinseon Kim) 허예지(Yeji Heo) 박정은(Jungeun Park) 홍주연(Juyeon Hong) 감교태(Gyotae Kim) 강상식(Sangsik Kang) 박지군(Jigoon Park) 남상희(Sanghee Nam)
• 간행물 정보: 『한국방사선학회 학술대회 논문집』2014년 추계종합학술대회논문집, 99~101쪽, 전체 3쪽
• 주제분류: 공학 > 기타공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2014.11.22

국문 초록

직접변환방식의 엑스선 검출 물질로서 단결정 카드뮴 테를라이드(CdTe)는 높은 반응특성 및 높은 수집 효율, 변환효율로 인해 현재 많은 연구가 진행되고 있다. 하지만 단결정형태의 CdTe는 대면적의 제작이 어렵고 높은 단가, 복잡한 제작 공정으로 인해 디지털 방사선 변환 센서로 적용함에 있어 제약을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 다결정형태의 CdTe에 대한 제작 연구를 진행하였고, 이의 특성을 분석하여 적용가능성을 살펴보았다. 일반적인 흉부용 엑스선 검출기를 고려하여 대면적 증착이 가능한 물리적 기화 증착법을 다결정형태의 CdTe 제작을 위해 사용하였다. 또한 엑스선에 대한 반응특성을 획득하기 위해 가해지는 인가전압에 의해 발생괴는 누설전률를 최소화하여 높은 신호대 잡음 특성을 획득하고자 다결정형태의 CdTe 필름의 상하부에 불순물을 주입하는 과정을 추가하였다. 상하부에 각각 금전극과 알루미늄전극을 증착하였고 이를 일정온도에서 열처리함으로서 높은 엑스선 방응 특성과 안정성 있는 전기적 특성을 획득하였으며 직접 변환방식의 엑스선 검출 물질로서의 가능성을 검증하였다.

영문 초록

The purpose of this study is to fabricate polycrystalline CdTe(Cadmium Telluride) films and to examine the electrical properties of the films. Taking large area of general thorax x-ray detector into consideration, physical vapor deposition was used. Unlike single crystal CdTe films which have complicate fabrication processes and high price, polycrystalline CdTe films fabricated by physical vapor deposition enables large area deposition with easy and simple fabrication processes. In order to fabricate polycrystalline CdTe with high signal to noise ratio, inpurities were doped into the surfaces of the top and bottom of the CdTe. Also, post annealing treatment was carried out in the optimum temperature after depositing top and bottom electrodes with gold and aluminium. By investigating the electrical properties and x-ray response of the film, the feasibility of the CdTe as a direct x-ray conversion material was proved.

목차

Ⅰ. INTRODUCTION

Ⅱ. MATERIAL AND METHOD

Ⅲ. RESULT

Ⅳ. DISCUSSION