반도체 장비 교육을 위한 PLC기반 PID제어 가상 시스템 개발 및 구현에 관한 연구

• 영문명: PLC-Based PID Control System for Semiconductor Education Research on Development and Implementation
• 발행기관: 한국산업기술융합학회(구. 산업기술교육훈련학회)
• 저자명: 우재우(Jae-Woo Woo) 신승중(Seung-Jung Shin)
• 간행물 정보: 『산업기술연구논문지』제29권 3호, 89~97쪽, 전체 9쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2024.09.30

국문 초록

최근 정부의 반도체 인재양성 정책에 맞춰 직업계고교 및 대학은 시설, 장비 구축을 위한 많은 예산을 지원받고있다. 주로 반도체 클린룸 시설과 반도체 공정장비를 구축하는 데 많은 비용이 들며, 실습실 공간 또한 제한되어있어 반도체 교육을 하는 데 어려움을 겪고 있다. 따라서, 비용은 효율적이며 공간 제약이 해결되고 확장 가능한 대체 교육 방법이 필요하다. 본 연구에서는 반도체 장비의 PID제어학습을 비용 및 공간과 난이도 면에서 조금 더쉽게 접근할 수 있도록 가상의 시뮬레이션 공간에 실물과 같은 가상 시스템을 구현하여 실물과 가상의 시뮬레이션간 유사성 비교 분석을 통해 그 교육적 효용성을 확인하였다.

영문 초록

IIn line with the government’s recent semiconductor talent training policy, vocational high schools and universities are receiving substantial funding for facility and equipment construction. Building semiconductor cleanroom facilities and processing equipment is very costly, while the limited lab space makes providing semiconductor education difficult. Therefore, an alternative education method which solves these issues is needed. To make PID control learning of semiconductor equipment more accessible in terms of cost, space, and difficulty, this study implemented a virtual system in a virtual simulation space, and confirmed the educational effectiveness through a comparative analysis of the real situation and virtual simulation.

목차

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. 실 험

Ⅲ. 가상 시스템 실험결과

Ⅳ. 결 론

References

키워드

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