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학술논문

PE-CVD 장비 효율 향상을 위한 Heater 온도 최적화 방법에 대한 연구

이용수 3

영문명
Research on Heater Temperature Optimization for Efficiency Enhancement of PE-CVD Equipment
발행기관
한국산업기술융합학회(구. 산업기술교육훈련학회)
저자명
이준영 김승빈 유주환 백지호 박민서 장진환 왕현철
간행물 정보
『한국산업기술융합학회 학술대회 논문집』2024년 전반기 학술대회 논문집, 57~60쪽, 전체 4쪽
주제분류
공학 > 산업공학
파일형태
PDF
발행일자
2024.05.31
4,000

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1:1 문의
논문 표지

국문 초록

영문 초록

목차

Ⅰ. 서 론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결 론
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키워드

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APA

이준영,김승빈,유주환,백지호,박민서,장진환,왕현철. (2024).PE-CVD 장비 효율 향상을 위한 Heater 온도 최적화 방법에 대한 연구. 한국산업기술융합학회 학술대회 논문집, 2024 (5), 57-60

MLA

이준영,김승빈,유주환,백지호,박민서,장진환,왕현철. "PE-CVD 장비 효율 향상을 위한 Heater 온도 최적화 방법에 대한 연구." 한국산업기술융합학회 학술대회 논문집, 2024.5(2024): 57-60

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