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학술논문

Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자 연구

이용수 0

영문명
Factors affecting the Reflectivity of Mo/Si Multilayer
발행기관
한국마이크로전자및패키징학회
저자명
간행물 정보
『한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집』2002년도 추계기술심포지움논문집, 185~189쪽, 전체 5쪽
주제분류
공학 > 산업공학
파일형태
PDF
발행일자
2002.11.30
4,000

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APA

. (2002).Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자 연구. 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집, 2002 (11), 185-189

MLA

. "Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자 연구." 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집, 2002.11(2002): 185-189

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