인라인 EFEM 클러스터 장비 아키텍처의 모델링 및 분석 사례 연구

• 영문명: A Case Study for Modeling and Simulation Analysis of the In-Line EFEM Cluster Tool Architecture
• 발행기관: 한국시뮬레이션학회
• 저자명: 한용희(Yong-Hee Han)
• 간행물 정보: 『한국시뮬레이션학회 논문지』제21권 제2호, 41~50쪽, 전체 10쪽
• 주제분류: 공학 > 기타공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2012.06.30

국문 초록

본 연구에서는 반도체 제조공정 및 클러스터 장비에 대한 상세히 설명하고 현 팹 레이아웃 및 클러스터 장비 아키텍처상의 문제점을 제시하였다. 또한 현 아키텍처상의 대안으로서 클러스터 장비간의 웨이퍼 이동이 상호 연결된 인라인 EFEM (Equipment Front End Module) 을 통해 이루어지는 ILE (In-Line EFEM) 아키텍처의 개념을 제시하였다. 마지막으로 해당 아키텍처를 실제 적용하여 구현된 파일럿 시스템을 시뮬레이션 을 통해 사이클 타임 관점에서 비교 분석하였다.

영문 초록

In this study we first explain details of the semiconductor manufacturing processes and cluster tools. Then we discuss the problems in current fab layout and cluster tool architecture. As a solution to these problems, we propose the ILE (In-Line EFEM) architecture in which wafer movements are conducted through interconnected EFEMs (Equipment Front End Modules) instead of AMHS (Automated Material Handling System). Then we model the pilot ILE system using discrete event simulation and analyze the cycle time. Finally we compare three different scenarios of equipment layout in the ILE system in terms of cycle time.

목차

1. 서론

2. 현 아키텍처상의 문제점 및 대안 제시

3. 모델링 및 분석(페트리넷 및 시뮬레이션)

4. 결 론

참고문헌

키워드

인라인 EFEM 팹 레이아웃 장비 아키텍처 클러스터 장비 반도체 시뮬레이션 In-line EFEM Fab layout Cluster tool Semiconductor Simulation