학술논문
반도체용 세라믹 히터의 산업 및 기술 동향
이용수 22
- 영문명
- 발행기관
- 한국세라믹학회
- 저자명
- 안덕원 박명하
- 간행물 정보
- 『세라미스트』제20권 제4호, 6~14쪽, 전체 9쪽
- 주제분류
- 공학 > 화학공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2017.12.30
4,000원
구매일시로부터 72시간 이내에 다운로드 가능합니다.
이 학술논문 정보는 (주)교보문고와 각 발행기관 사이에 저작물 이용 계약이 체결된 것으로, 교보문고를 통해 제공되고 있습니다.
국문 초록
영문 초록
목차
1. 반도체 산업 및 시장 전망
2. 반도체 증착 장비 산업 및 시장 전망
3. 차세대 반도체 공정 기술
4. 히터 기술 발달의 추세
5. 히터 제조 기술
6. 차세대 히터의 기술 개발 방향
7. 결론
참고문헌
키워드
해당간행물 수록 논문
참고문헌
교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!
신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.
바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!