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학술논문

증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향

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영문명
The Effects of Deposltion Variables on the CVD of SiC
발행기관
강원대학교 산업기술연구소
저자명
서명기(Myoung-GI So) 남인택(In-Tak Nam)
간행물 정보
『산업기술연구』vol.4, 37~41쪽, 전체 5쪽
주제분류
공학 > 공학일반
파일형태
PDF
발행일자
1984.09.30
4,000

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APA

서명기(Myoung-GI So),남인택(In-Tak Nam). (1984).증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향. 산업기술연구, 4 , 37-41

MLA

서명기(Myoung-GI So),남인택(In-Tak Nam). "증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향." 산업기술연구, 4.(1984): 37-41

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