학술논문
메모리 소자의 셀 커패시턴스에 미치는 공정 파라미터 해석
이용수 29
- 영문명
- Analysis of Process Parameters on Cell Capacitances of Memory Devices
- 발행기관
- 한국전자통신학회
- 저자명
- 정윤근(Yeun Gun Chung) 강성준(Seong Jun Kang) 정양희(Yang Hee Joung)
- 간행물 정보
- 『한국전자통신학회 논문지』제12권 제5호, 791~796쪽, 전체 6쪽
- 주제분류
- 공학 > 전자/정보통신공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2017.10.30
4,000원
구매일시로부터 72시간 이내에 다운로드 가능합니다.
이 학술논문 정보는 (주)교보문고와 각 발행기관 사이에 저작물 이용 계약이 체결된 것으로, 교보문고를 통해 제공되고 있습니다.
국문 초록
본 연구에서는 DRAM 커패시터의 유전막 박막화를 위한 Load Lock(L/L) LPCVD 시스템을 이용한 적층형 커패시터의 제조 공정이 셀 커패시턴스에 미치는 영향을 조사하였다. 그 결과 기존의 non-L/L 장치에 비하여 약 6Å의 산화막 유효두께를 낮춤으로 커패시턴스로 환산 시 약 3-4 fF의 차이가 나타남을 확인할 수 있었다. 또한 절연막으로써 질화막 두께의 측정 범위가 정상적인 관리 범위의 분포임에도 불구하고 Cs는 계산치보다 약 36 fF 정도 낮은 것으로 확인되었다. 이는 node poly FI CD가 spec 상한치로 관리되어 셀 표면적의 감소를 초래하였고 이는 약 2fF의 Cs 저하를 나타내었다. 따라서 안정적인 Cs의 확보를 위해서는 절연막의 두께 및 CD 관리를 spec 중심값의 10 % 이내로 관리할 필요가 있음을 확인하였다.
영문 초록
In this study, we investigated the influence of the fabrication process of stacked capacitors on the cell capacitance by using Load Lock (L/L) LPCVD system for dielectric thin film of DRAM capacitor. As a result, it was confirmed that the capacitance difference of about 3-4 fF is obtained by reducing the effective thickness of the oxide film by about 6 Å compared to the conventional non-L/L device. In addition, Cs was found to be about 3-6 fF lower than the calculated value, even though the measurement range of the thickness of the nitride film as an insulating film was in a normal management range. This is because the node poly FI CD is managed at the upper limit of the spec, resulting in a decrease in cell surface area, which indicates a Cs reduction of about 2fF. Therefore, it is necessary to control the thickness of insulating film and CD management within 10% of the spec center value in order to secure stable Cs.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시료제작 및 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅵ. 결론
References
해당간행물 수록 논문
- 메모리 소자의 셀 커패시턴스에 미치는 공정 파라미터 해석
- WB(Water-Bubble) 기반의 강한 보안성을 갖는 탄력적 네트워크 구간에 관한 연구
- 퍼지집합과 피드백 기반의 시스템 다이나믹스를 이용한 소셜네트웍의 반응 분석 모델
- 3차원 비콘 위치측정을 이용한 마커기반 증강현실의 안정적 서비스에 관한 연구
- 카오스 기반 Malasoma 시스템의 동기화 및 보안 통신 응용
- 고속철도통신에서 응용 트래픽의 전송성능
- SPWM 구동 방식을 이용한 단상 풀 브리지 인버터의 전압 제어에 대한 연구
- D-PASS: 스마트 기기 사용자 인증 기법 연구
- 빅 스트림 기반 초고속 데이터 스토리지 성능 평가
- 2kW급 양방향 LDC의 효율개선 방안
- 오목한 광섬유 팁의 방사특성에 관한 연구
- 관측치를 이용한 적응적 조위 예측 방법
- AOA 추정기 기반의 적응 빔형성 시스템 구조
- 라즈베리파이를 이용한 얼굴검출 및 인식 시스템 개발
- 의료정보 보호를 위해 얼굴인식에 필요한 효과적인 시선 검출
- 스마트 폰 SNS 설문조사 통해 알아본 여성의 성 만족도에 관한 헬스케어 연구
- 교통카드 이용자 승차 및 하차 정보를 이용한 버스 노선별 정류장 정보 생성 모형 연구
- 시설원예용 스마트 환경 제어 시스템
- 디지털 스포츠 중독의 비선형 거동 해석
- 테스트베드상에서 LTE기반 철도 무선통신시스템의 성능 측정
- 질화물계 반도체 GaP1-x Nx의 에너지 밴드갭 계산
- 원전 사이버 보안 취약점 점검 도구 개발을 위한 규제요건 분석
- 온ㆍ오프라인 동료상담훈련 참여 경험이 신입생의 자아존중감과 자기효능감에 미치는 영향
- 동적인 색변화를 이용한 감성 조명에 관한 연구
- 비 암호화 프로그램 사용자의 토르망 익명성 보장 분석
- NCS 기반 의료정보관리를 위한 퇴원분석 교육프로그램 개발
- IMM 알고리듬의 모드 계수 갱신 방법을 통한 레이돔 굴절률 추정
- 첨단계랑인프라를 위한 원격검침 및 계량데이터관리 시스템 개발
- IoT 기반의 브리지를 이용한 스마트 홈 클라우드 제어 시스템 설계 및 구현
- 오픈소스 컨트롤러를 사용한 층간 소음 방지 시스템
- 커플링구조를 이용한 가동위어의 동기제어시스템 설계
참고문헌
교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!
신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.
바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!