공초점 정렬을 이용한 자동초점보정 레이저 직접묘화 시스템

• 영문명: Auto-focusing laser direct writing system using confocal geometry
• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 김용우(Yongwoo Kim) 이진석(Jinseok Lee) 김경식(Kyoungsik Kim) 한재원(Jaewon Hahn)
• 간행물 정보: 『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2006년도 춘계학술발표대회 논문집, 123~128쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2006.06.01

영문 초록

  We constructed a micro-patterning system that build patterns on a photoresist coated wafer using laser direct writing system. Confocal microscope system was adapted for real-time auto-focusing of the laser writing lens to generate lines of uniform width.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 레이저 직접묘화 시스템
3. 실험 및 결과
4. 결론
참고문헌

키워드

laser direct writing(레이저 직접묘화) micro-patterning(미세 패터닝) confocal(공초점) auto-focus(자동 초점 보정)