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학술논문

반도체폐가스 처리용 열분해모듈내 열유동 특성 연구

이용수 12

영문명
A Study on Thermal-flow Characteristics inside Thermal Decomposition Module for Semiconductor Waste gas Treatment
발행기관
한국환경에너지공학회
저자명
송형운(Hyoungwoon Song) 윤종혁(Jonghyuk Yoon) 정희숙(Heesuk Jung)
간행물 정보
『한국환경에너지공학회 학술대회지』2019년 추계학술발표회, 96~96쪽, 전체 1쪽
주제분류
공학 > 환경공학
파일형태
PDF
발행일자
2019.11.28
무료

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APA

송형운(Hyoungwoon Song),윤종혁(Jonghyuk Yoon),정희숙(Heesuk Jung). (2019).반도체폐가스 처리용 열분해모듈내 열유동 특성 연구. 한국환경에너지공학회 학술대회지, 2019 (3), 96-96

MLA

송형운(Hyoungwoon Song),윤종혁(Jonghyuk Yoon),정희숙(Heesuk Jung). "반도체폐가스 처리용 열분해모듈내 열유동 특성 연구." 한국환경에너지공학회 학술대회지, 2019.3(2019): 96-96

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