학술논문
반도체 공정에서 배출되는 폭발성가스 처리효율 향상을 위한 플라즈마 토치 형상 개선
이용수 40
- 영문명
- 발행기관
- 한국환경에너지공학회
- 저자명
- 최희영 홍범의 정철진 최창식
- 간행물 정보
- 『환경에너지공학』제13권 제1호, 1~7쪽, 전체 7쪽
- 주제분류
- 공학 > 환경공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2016.06.01
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국문 초록
영문 초록
목차
Ⅰ. 서론
II. 재료 및 방법
III. 결과 및 고찰
IV. 결론
참고문헌
키워드
해당간행물 수록 논문
- 마이크로파 플라즈마에 의한 탄소섬유 생산 : 연속식 실험
- 반도체 공정에서 배출되는 폭발성가스 처리효율 향상을 위한 플라즈마 토치 형상 개선
- 마이크로파 플라즈마에 의한 탄소섬유 생산 : 회분식 실험
- 분뇨슬러지의 연료가능성 평가
- 유리화기술을 적용한 폐석회 처리 방안 제시
- 내열합금 침출액으로부터 Alamine304-1을 이용한 금속이온의 용매추출 거동 및 레늄의 추출
- 석탄과 EFB 반탄화물의 혼합 연소에 따른 발생가스 특성
- 폐기물 소각시설 발전효율 향상 효과 분석 - 저공기비연소 및 저온이코노마이저 활용 -
- 마이크로파 가열을 이용한 β-SiC 분말 합성
- 폐기물 가스화 반응기의 CFD 해석
참고문헌
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