학술논문
화학증착공정에서의 박막, 나노와이어, 나노튜브 성장의 새로운 이해
이용수 37
- 영문명
- 발행기관
- 한국세라믹학회
- 저자명
- 이동권 황농문
- 간행물 정보
- 『세라미스트』제10권 제2호, 55~63쪽, 전체 9쪽
- 주제분류
- 공학 > 화학공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2007.04.30
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국문 초록
영문 초록
목차
1. 서론
2. 박막중착공정 중에 생성되는 하전된 나노입자의 관찰
3. 나노입자의 생성 및 하전 원리
4. 하전된 나노입자에 의한 결정성장
5. 하전된 나노입자에 의한 박막증착 현상
6. 결론
참고문헌
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