학술논문
고정밀 패키지 통합을 실현하여 5G 모바일 혁명을 뒷받침하고 있는 엑시머 레이저
이용수 16
- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- DR RALPH DELMDAHL DR DIRK MÜ LLER
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2020 JANUARY Vol.23, No.1, 4~8쪽, 전체 5쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2020.01.30
4,000원
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국문 초록
영문 초록
목차
점점 어려워지는 패키징
RDL 트렌치(trench) 및 마이크로비아(microvia)의 듀얼 다마신 패터닝
리소그래피
엑시머 레이저 공정
엑시머 레이저 공정의 속도와 처리량
시드 층 제거
요약
키워드
해당간행물 수록 논문
참고문헌
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