펨토초 레이저 기반 AMOLED FMM 제조방법

• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 전진우 김훈영 신영관 최원석 조성학
• 간행물 정보: 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2017 OCTOBER Vol.20, No.6, 10~17쪽, 전체 8쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2017.10.30

국문 초록

인바합금을 사용하여 AMOLED 제조 공정중 RGB 증착공정에 사용되는 FMM의 제조시, 진동자를 사용하여 펨토초 레이저 홀 가공의 테이퍼 각도 조절을 통한 품질향상에 대한 연구를 수행하였다. 진동자를 대물렌즈에 장착하여 초점위치를 연속으로 바꾸어 홀의 테이퍼 각도 조절을 하였다. 초점이 연속으로 변하므로 첫번째 펄스가 집속되는 위치와 초점위치의 이동방향에 대해 가공특성이 어떻게 달라지는지 총 8발의 펄스에 대한 사전실험을 수행하였다. 사전실험을 통해 얻은 결과를 활용하여 연속으로 진동하는 진동자를 이용한 펨토초 레이저홀 가공시 진동자의 진폭을 변화시킴으로써 홀 가공시 테이퍼 각도 조절이 가능함을 데모하였다. 진동의 조건과 레이저의 조건을 고정하고 진동자의 진폭만을 조절하여 31.8 ~ 43.9도의 범위로 테이퍼 각도 조절을 할 수 있었다. 또한, 인바합금 가공시 스펙트럼 측정을 통해 가공상황을 실시간으로 모니터링하였다.

목차

1. Introduction

2. Experimental setup

3. Experimental results and discussion

4. Conclusion

References

키워드

tapered angle control femtosecond laser hole drilling Invar plate AMOLED