Effects of Working Pressure on Structural and Optical Properties of HfO₂ Thin Films

• 발행기관: 한국전자통신학회
• 저자명: 정양희(Yang Hee Joung) 강성준(Seong Jun Kang)
• 간행물 정보: 『한국전자통신학회 논문지』제12권 제6호, 1019~1026쪽, 전체 8쪽
• 주제분류: 공학 > 전자/정보통신공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2017.12.30

국문 초록

HfO₂ 박막은 공정압력을 조정함으로써 박막의 질을 향상시켜 그 구조적 특성을 개선시킬 수 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 유리 기판 위에 HfO₂ 박막을 증착하였으며, 이때의 기저진공 압력은 4.5×10⁻⁶ Pa 이하였으며 RF 파워는 100 W, 기판의 온도는 300 ℃ 이었다. 해당 박막 증착 공정의 공정 압력은 1 mTorr 에서 15 mTorr 로 변화되었다. 그 후, 해당 박막의 구조적 및 광학적 특성들을 조사하였다. 특히, 1 mTorr 의 공정 압력으로 증착된 HfO₂ 박막이 다른 박막들과 비교하여 가장 우수한 특성을 가진 것으로 나타났으며, 이때의 결정립의 크기는 10.27 nm, 표면 거칠기는 1.173 nm, 550 nm 파장에서의 굴절률은 2.0937, 그리고 550 nm 파장에서의 투과율은 84.85 % 의 우수한 특성을 나타내었다. 이러한 결과들을 통해 1 mTorr 의 공정 압력으로 증착된 HfO₂ 박막은 투명 전자 소자에 적용하기에 적합함을 알 수 있다.

영문 초록

The structural properties of HfO₂ films could be improved by calibrating the working pressure owing to the enhanced quality of a thin film. We deposited HfO₂ films on glass substrates by radio frequency (RF) magnetron sputtering under a base vacuum pressure lower than 4.5×10⁻⁶ Pa, RF power of 100 W, substrate temperature of 300 °C. The working pressures were varied from 1 mTorr to 15 mTorr. Subsequently, their structural and optical properties were investigated. In particular, the HfO₂ film deposited at 1 mTorr had superior properties than the others, with a crystallite size of 10.27 nm, surface roughness of 1.173 nm, refractive index of 2.0937 at 550 nm, and 84.85 % transmittance at 550 nm. These results indicate that the HfO₂ film deposited at 1 mTorr is suitable for application in transparent electric devices.

목차

요약

ABSTRACT

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Experimental

Ⅲ. Results and Discussion

Ⅵ. Conclusions

References

키워드

HfO₂ 박막 스퍼터링 굴절률 투과도 HfO₂ thin film Sputtering Refractive index Transmittance