경 엑스선 존 플레이트(Zone Plate) 설계 및 제작

• 영문명: Design and Fabrication of Hard X-ray Zone Plate
• 발행기관: 한국방사선학회
• 저자명: 천권수(Kwon Su Chon)
• 간행물 정보: 『한국방사선학회 논문지』 제4권 제3호, 27~31쪽, 전체 5쪽
• 주제분류: 공학 > 기타공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2010.08.15

국문 초록

엑스선 영상의 공간분해능은 영상획득 장치에 사용되는 광학소자의 성능에 의해 결정된다. 8.5keV에서 높은 공간분해능 달성이 가능한 존 플레이트를 설계하였다. 방사광을 이용하는 대신 엑스선 튜브를 사용하는 영상시스템에서는 80㎚의 공간분해능을 달성할 수 있음을 광선추적 기법을 이용하여 예측하였다. 전자빔 석판인쇄술을 이용하여 최외곽폭 40㎚를 갖는 존 플레이트가 제작하였다.

영문 초록

Spatial resolution is determined by the performance of x-ray optics used in the x-ray imaging system. A zone plate was designed for obtaining a high spatial resolution image at x-ray energy of 8.5keV. A spatial resolution of 80 ㎚ was estimated by the ray tracing when an x-ray tube of tungsten targe was used instead of synchrotron radiation. The designed zone plate of outermost zone width of 40㎚ was successfully fabricated by the electron-beam lithography.

목차

요약

Abstract

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 존 플레이트(Zone plate) 설계

Ⅲ. 존 플레이트(Zone plate) 제작

Ⅳ. 고찰

감사의 글

참고문헌

키워드

Hard x-ray Zone plate Spatial resolution Electron-beam lithography