펨토초 레이저 리소그라피 기술을 이용한 Fresnel zone plate 제작 연구

• 영문명: Fabrication of Fresnel zone plate with femtosecond laser lithography technology
• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 손익부(I. B. Sohn) 노영철(Y. C. Noh) 고명진(M. J. Ko)
• 간행물 정보: 『한국레이저가공학회지』한국레이저가공학회지 제14권 제2호, 13~16쪽, 전체 4쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2011.06.30

영문 초록

We fabricated the Fresnel zone plate using femtosecond laser lithography-assisted micro-machining, which is a combined process of nonlinear lithography and wet etching. We investigated the focusing properties by launching a 632.8㎚ wavelength He-Ne laser beam into the zone plate. The spot size of the primary focal point was 27㎛ and the intensity of focal point was 0.565W/㎠.

목차

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결론

4. 후기

References

키워드

Femtosecond laser Lithography Fresnel zone plate 펨토초 레이저 리소그래피 프레넬 존플레이트