학술논문
Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석
이용수 58
- 영문명
- Measurement and analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- 이동준(D.J. Lee) 정성호(S.H. Jeong)
- 간행물 정보
- 『한국레이저가공학회지』한국레이저가공학회지 제6권 제3호, 11~17쪽, 전체 7쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2003.12.01
4,000원
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