학술논문
고출력 레이저 어블레이션에 의한 실리콘 가공시 발생하는 상폭발 현상에 관한 연구
이용수 48
- 영문명
- Study on the phase explosion phenomena during high power laser ablation of silicon
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- 정성호(S. H. Jeong) J. H. Yoo, R. Greif, R. E. Russo
- 간행물 정보
- 『한국레이저가공학회지』한국레이저가공학회지 제3권 제3호, 39~45쪽, 전체 7쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2000.12.01
4,000원
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