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학술논문

자외선 및 펨토초 레이저를 이용한 근접장 패터닝

이용수 19

영문명
NSOM lithography using UV and femtosecond laser
발행기관
한국레이저가공학회
저자명
장원석 최무진 김재구 조성학 황경현
간행물 정보
『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2004년도 추계학술발표대회 논문집, 68~72쪽, 전체 5쪽
주제분류
공학 > 기계공학
파일형태
PDF
발행일자
2004.10.01
4,000

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APA

장원석,최무진,김재구,조성학,황경현. (2004).자외선 및 펨토초 레이저를 이용한 근접장 패터닝. 한국레이저가공학회 학술대회 논문집, 2004 (3), 68-72

MLA

장원석,최무진,김재구,조성학,황경현. "자외선 및 펨토초 레이저를 이용한 근접장 패터닝." 한국레이저가공학회 학술대회 논문집, 2004.3(2004): 68-72

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