학술논문
유리액를 이용한 레이저 선택 접합
이용수 47
- 영문명
- Laser bonding using liquid glass
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- 김주한(Joohan Kim) 이제훈(Jae-Hoon Lee) 김향태(Hyangtae Kim)
- 간행물 정보
- 『한국레이저가공학회지』한국레이저가공학회지 제11권 제3호, 1~4쪽, 전체 4쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2008.09.30
4,000원
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국문 초록
영문 초록
A selective laser micro bonding process using liquid glass (methylsilsesquioxane) was developed and the results are analysed. The liquid glass can be solidified with Nd:YAG laser irradiation and it can be applied for joining two glass substrates. A bonding thickness of a few micrometers can be achieved. The appropriate laser power density for this process is around 40-60 ㎾/㎠ and its bonding force is 1000-1200 gf/㎟. This process can be applied for bonding micro devices such as micro bio-sensors or display products. Its advantages and limitations are presented and discussed.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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