학술논문
Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 분석
이용수 12
- 영문명
- Analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- 이동준 정성호
- 간행물 정보
- 『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2003년도 추계학술발표대회 논문개요집, 86~92쪽, 전체 7쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2003.10.01
4,000원
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국문 초록
영문 초록
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 모델링
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
Ⅵ. 참고문헌
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 모델링
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
Ⅵ. 참고문헌
키워드
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- Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 분석
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참고문헌
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