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학술논문

차세대 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 시스템 아키텍처

이용수 33

영문명
A Real-Time Scheduling System Architecture in Next Generation Wafer Production System
발행기관
한국산업경영시스템학회
저자명
이현(Hyun Lee) 허선(Sun Hur) 박유진(You-Jin Park) 이건우(Gunwoo Lee) 조용주(YongJu Cho)
간행물 정보
『산업경영시스템학회지』제33권 제3호, 184~191쪽, 전체 8쪽
주제분류
경제경영 > 경영학
파일형태
PDF
발행일자
2010.09.30
4,000

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1:1 문의
논문 표지

국문 초록

영문 초록

In the environment of 450mm wafers production known as the next-generation semiconductor production process, one of the most significant features is the full automation over the whole manufacturing processes involved. The full automation system for 450mm wafer production will minimize the human workers' involvement in the manufacturing process as much as possible. In addition, since the importance of an individual wafer processing increases noticeably, it is necessary to develop more robust scheduling systems in the whole manufacturing process than so ever. The scheduling systems for the next-generation semiconductor production processes also should be capable of monitoring individual wafers and collecting useful data on them in real time. Based on the information gathered from these processes, the system should finally have a real-time scheduling functions controlling whole the semiconductor manufacturing processes. In this study, preliminary investigations on the requirements and needed functions for constructing the real time scheduling system and transforming manufacturing environments for 300mm wafers to those of 400mm are conducted and through which the next generation semiconductor processes for efficient scheduling in a clustered production system architecture of the scheduler is proposed. Our scheduling architecture is composed of the modules for real-time scheduling, the clustered production type supporting, the optimal scheduling and so on. The specifications of modules to define the major required functions, capabilities, and the relationship between them are presented.

목차

1. 서 론
2. 클러스터 툴에 대한 스케줄링 연구
3. 차세대 스케줄링 시스템 요구사항
4. 클러스터형 스케줄러 시스템
5. 결 론

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APA

이현(Hyun Lee),허선(Sun Hur),박유진(You-Jin Park),이건우(Gunwoo Lee),조용주(YongJu Cho). (2010).차세대 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 시스템 아키텍처. 산업경영시스템학회지, 33 (3), 184-191

MLA

이현(Hyun Lee),허선(Sun Hur),박유진(You-Jin Park),이건우(Gunwoo Lee),조용주(YongJu Cho). "차세대 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 시스템 아키텍처." 산업경영시스템학회지, 33.3(2010): 184-191

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